干式真空泵应用的领域都有哪些?质量怎么样?

伴随着科技的发展，现在干式真空泵也在各行各业有很广泛的作用，而且干式真空泵结构简单，维修起来也很方便，所以受到了很多行业的喜爱，那么它的应用领域都有哪些呢?下面就给大家介绍一下。　　一、低压化学气相沉积中的多晶硅制备工艺中　　因为HCI等极易溶解于水，所以如果用传统的真空泵将无法很好地回收和分离反应的尾气，更严重的是，HCI溶解于水之后是强酸，能快速溶解腐蚀金属的容器和器材，严重减低设备的使用期限，加大生产的成本，增加设备的生产周期。而应用了干式真空泵之后，因为干式真空泵不需