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无油爪式真空泵在半导体工业应用的优势

文章出处:企业动态 网站编辑: 雅之雷德 阅读量: 发表时间:2020-08-14 11:44:25

爪式真空泵是为半导体工业发展而研制的,它有如下一些优势和特点:

1)泵腔内无润滑剂,因而无返油现象发生;

2)抽气原件为非接触式的可实现高速运转(3000r/min);

3)与被抽气体接触的表面防腐蚀耐磨损;

4)在泵腔内气流垂直运动,少量的颗粒物和液体等在重力作用下易于排除;

5)该泵型式多样,功能可以扩展,泵的主体,带有齿轮、马达以及气体净化设备,附件有入口处防反流的阀门,出口处有截流阀,电气监控及报警装置;

6)齿轮和泵轴的下轴承用PFPE油润滑,上端盖内的轴承用PFPE油脂润滑;

7)第二、三、四级均有净化气体入口,以改善被抽介质顺利通过泵腔,无此需要的可以不用通净化气体,净化气体用三个流量计分别调节,相互都是独立的,以保证节约惰性气体,利用三个电磁阀可微调其流量;

8)入口防返流阀能将被抽容器与泵腔隔断,出口处截流阀能将泵的出口封闭起来,将泵通以净化气体,这些阀可自动开关,好凯德真空系统有可靠的保护,杜绝了向真空室的返流;

9)电气监控与操作,主要有电源,远距离操作和开关阀等的控制。

无油爪式真空泵

当爪式真空泵出现故障时泵能自动停车,两个阀门一齐关闭或截流阀关闭。动力和遥控有一台变压器和整流器,以提供所需的电流电压,以满足监控过程的需要。动力电源、继电器用以对马达的接通与断开及马达超负荷的保护。操作过程有显示器,有按钮控制,可控制马达、防返流阀的控制阀和截流阀的控制阀,第二、三、四级的净化气体的通断阀,惰性气体的主阀,净化气体向轴封处通气用的阀门等。故障的监控报警或停车,系统安全自动控制,也可按钮控制。启动时,打开净化气体,泵正常运行3min,净化气体向各段涌入,通净化气体对泵性能有些影响。每当遇到紧急情况可按自动停车键,净化气体继续接通,关闭入口防返流阀,各级泵净化1min,净化结束,马达再停车,关闭惰性气体截止阀。


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