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2021螺杆真空泵火了,半导体行业是幕后推手

文章出处:企业动态 网站编辑: 雅之雷德 阅读量: 发表时间:2021-05-29 10:51:28

得益于半导体行业的井喷式发展螺杆真空泵成功“上位”,火起来了!

经历了 20 世纪 70 年代由美国转向日本,以及 20 世纪 80 年代转向韩国和中国台湾,目前半导体产业正在经历向中国大陆的第三次转移。目前,中国拥有具有全球规模的,且增长迅速的集成电路消费市场。受益于庞大的消费市场以及国家产业政策的大力支持,国内集成电路制造企业均加大在中国大陆的投资以扩张产能。


半导体


干式真空泵是半导体各制程中必备的通用设备,应用于单晶拉晶、Load-Lock、刻蚀、CVD、原子层沉积(ALD)、封装、测试等清洁或严苛制程。

半导体产品制造过程中所需的真空系统,需要具备抽除腐蚀性气体、粉尘颗粒物、有毒气体等功能,因此干式螺杆真空泵是非常好的选择。


半导体行业真空泵应对制程

(半导体行业真空泵应对制程)


干式真空泵应用于半导体行业的关键优势在于:
1.消除了工艺过程污染油或油搭载进入尾气处理系统的风险
2.不会产生废物、或者污染宝贵的溶剂、产品或环境
3.它是完全干燥的,对上下游工艺没有任何污染
4.干式真空泵中不会发生任何腐蚀
5.效率更高,耗电更少
6.吸入的溶剂或其他有用的成分可以在泵的出口直接回收


干式螺杆真空泵


好凯德Hokaido的RKB/RKD干式螺杆泵,TURBO-M系列分子泵,是专为半导体行业设计的真空泵。


RKB/RKD干式螺杆泵,具有运转功率低,噪音低,抽速快等特点。
·可依制程/环境需求选用水冷,气冷及防爆马达
·气冷马达机型可搭配自循环冷却系统,能使用在无冷却水系统的环境
·可依不同需求选配鲁式泵浦,抽气速率最大可达3500m³/h


分子泵

TURBO-M系列分子泵
·抽速介于10-2700升/秒
·较高的性价比和灵活的安装方式
·高抽速不受高负荷或杂质气体侵入影响

以上是好凯德用于半导体行业的干泵和分子泵的简单介绍,需要了解更多,请联系好凯德。

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