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涡轮分子泵能否单独使用?来看看这几个涡轮分子泵的使用要点!

文章出处:真空泵知识 网站编辑: 雅之雷德 阅读量: 发表时间:2022-06-12 22:49:21

涡轮分子泵是高或者超高真空泵,主要由转子和定子两个部分组成。一般来说,涡轮分子泵一般与离子泵、升华泵等组合使用,用以排除泵不易排除的氢、氦和其他惰性气体,避免造成不必要的浪费,通常不会单独在小流量大抽速的情况下使用涡轮分子泵。


涡轮分子泵


除此之外,涡轮分子泵在使用时,还需注意以下事项:

1.为防止涡轮分子泵返油,开机前先将前级泵抽至2托,然后再启动涡轮分子泵。

2.在涡轮分子泵与前级泵之间可串入一只挡油阱以防止机械泵油蒸汽的返油。

3.不能在前级泵工作时(前级管路接通)和真空室处于真空状态时将涡轮分子泵停掉,否则将会使油蒸汽迅速从前级管路返流到泵的清洁端。

4.选择系统前级泵大小时,应使涡轮分子泵的前级泵保持在分子流状态下。

5.不能让涡轮分子泵在低于额定工作转速下运行。

6.分子泵入口应装设防护网,以免异物进入泵内损坏转子和定子叶片。


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好凯德涡轮分子泵

(好凯德涡轮分子泵)


涡轮分子泵是利用高速旋转的动叶轮将动量传给气体分子,使气体产生定向流动而抽气的真空泵。涡轮分子泵的特点是启动快,能抗各种射线的照射,耐大气冲击,无气体存储和解吸效应,无油蒸气污染或污染很少,能获得清洁的超高真空;在运作时,高抽速不受高负荷或杂质气体侵入影响。


涡轮分子泵广泛应用于高能加速器、可控热核反应装置、重粒子加速器以及真空镀膜等需要获得高真空度的制造工艺中。


分子真空泵


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