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适用于化学工业的干式真空泵有哪些?

文章出处:真空泵知识 网站编辑: 雅之雷德 阅读量: 发表时间:2020-11-27 15:48:12

  早期的干式泵是由罗茨型多级转子或爪型多级转子串联而成,它们与泵腔内没有接触,用同步齿轮驱动两个平行的转子轴,由于泵腔内没有液体,因此内部间隙应尽量保持很小,以减少气体返流。但这一微小的间隙对过程颗粒的堆积非常敏感,目前解决这一问题的方法是:将惰性气体从泵的入口中充入,或用惰性气体稀释可凝固的腐蚀气体。

  在半导体行业应用的成功,也激励了干泵制造商将其引入化工行业,尽管干泵价格昂贵,但操作成本较低,特别是不存在废液处理问题,这有利于环境和健康。现在干泵有很多种类型,包括涡旋泵,隔膜泵,干旋片泵,罗茨型干泵,爪式干泵和螺旋真空泵。罗茨型干泵、爪式干泵和螺杆式真空泵在化工行业应用中占主导地位。

干式真空泵

  一、圆柱型干泵

  罗茨型干泵是化工行业广泛使用的一种较大的干式真空泵。该泵是由三层三叶型罗茨转子串联而成,它们安装在同一根轴线上,各个转子之间由中段隔开,形成各个级别的泵腔,上一级的排气口与下一级的进气口串联,各个级别的排气口串联进行抽气。所有级别的转子直径和形状都相同,所有级别转子的宽度朝高压侧方向变窄,但这种设计都要求级间冷却,也就是,所有级别的转子经过热交换器冷却后,再进入下一级别的入口。

  二、干爪泵

  爪式泵已于1930年进行了研究,并首次应用于压缩机工业,爪式转子具有高压高压缩比的特点。爪式转子还有两种功能:一种是用于截获、输送和压缩气体,另一种类似于阀门,用于在适当的时候开启和关闭吸气和排气。现有此类泵的结构设计多采用一级罗茨转子与三级爪式转子串联,以罗茨转子为高真空级,以爪式转子为压缩排气级。

  三、螺旋真空泵

  螺旋真空泵是20世纪90年代初出现的一种理想的泵种,具有抽速范围宽,结构简单紧凑,泵腔内无摩擦组件,能耗低,无废液排放,操作成本低等诸多优点,被广泛应用于半导体、光电、化工、医药、石化、空间模拟、低压风洞等领域。

  螺旋真空泵工作原理:螺旋机构由一对同步齿轮驱动,螺杆反向旋转,螺旋机构在螺旋机构和螺旋机构之间,螺旋机构和泵腔之间有一定的间隙,无金属接触。这样螺杆在转动的过程中就会从进气口被吸进和排出。

  相对于罗茨型干泵和爪式泵,螺杆式真空泵抽气距离短,不受干扰,能快速排出,从而使泵中的微粒杂质不易积聚。

  此外,因为大多数螺杆真空泵用于抽除腐蚀性或危险气体,为了防止泵腔和螺杆被腐蚀或锈蚀,并延长泵的使用寿命,可根据不同用途采用下列不同涂层:

  液体环形泵结构简单,运动部件少,操作、维修方便,价格也比较低廉。螺旋真空泵虽然价格较高,但其性能非常优越,运行费用较低,不会产生废液,既节能又环保。因此,以上两种真空泵最适合在化工过程中使用。


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